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針對超高真空互聯應用領域進行專業設計;

自動化程度高:可實現全自動控制樣品傳送;

位置重復性好:位置重復誤差小于0.2mm

傳樣機械臂在腔體內可360°旋轉;

整體耐高溫:工作溫度大于150℃



圓形樣品傳樣腔